測定機

自動マスク寸法測定機 AMFiM

測定機 自動マスク寸法測定機 AMFiM

自動マスク寸法測定機 AMFiM

●主な仕様

測定対象マスク 9インチ以下
対象線幅 0.5~30μm(視野内計測)
30~500μm(ステージ移動計測)
線幅測定再現性 ※1 ※2 3σ≦5nm
座標測定再現性 ※1 3σ≦15nm
スループット ※1 線幅測定: 8分30秒以下
座標測定: 13分以下

※1 弊社指定の測定条件にて
※2 線幅30μm以下にて

両面座標測定機 BSM

両面座標測定機 BSM

両面座標測定機 BSM

本製品は、ウェハ表裏両面のパターン間の座標偏差を測定します。(TAIKO(※)ウェハ対応可能)

※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。

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