縮小投影露光装置

縮小投影露光装置 MEMSステッパーシリーズ

MEMSステッパーシリーズ

MEMSデバイスの多様化に対応

投影レンズ NEW
i04
NEW
i05
開発中
i10A
i10
本体 NES1 (≦ 6") / NES2 (6" & 8")
波長 (nm) 365
(i-line)
解像力 L/S (μm) 1.0 1.2 1.8 3.7
ベストパフォーマンス
解像力 L/S (μm) *1
0.8 1.0 1.3 2.6
焦点深度 (μm) *2 6 10 18 74
露光フィールド (mm) 15×15 22×22 50×50 44×44
照度 (mW/cm2) 1000 700 300 300
重ね合わせ精度 (μm) (M+3σ) 0.3 0.3 0.6 0.6
ウエハサイズ ≦ 6" 6" & 8" 6" & 8" 8"
処理能力 8" (WPH)
(100 mJ/cm2)
N/A 45 71 71
処理能力 6" (WPH)
(100 mJ/cm2)
62 81 121 N/A
投影レンズ i06 ghi06 h04 h04A
本体 NES1 (≦ 6") / NES2 (6" & 8")
波長 (nm) 365
(i-line)
365-436
(ghi-line)
405
(h-line)
解像力 L/S (μm) 2.0 2.3 2.0 1.6
ベストパフォーマンス
解像力 L/S (μm) *1
1.4 1.7 N/A
焦点深度 (μm) *2 22 16 10
露光フィールド (mm) 22×22 15×15
照度 (mW/cm2) 800 1400 800
重ね合わせ精度 (μm) (M+3σ) NES1:0.3  NES2:0.35 0.3
ウエハサイズ 6" & 8" ≦ 6"
処理能力 8" (WPH)
(100 mJ/cm2)
45 48 N/A N/A
処理能力 6" (WPH)
(100 mJ/cm2)
82 87 60

注記 *1:最良のプロセスコンディションにおいて
   *2:最良の条件で算出した値です

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