リペアパーツの迅速･円滑な供給は、ＦＥによる人的サポートとともに、お客さまに対するサービスの大きな柱のひとつです。

　ＮＳＲ１台には、２万点以上のパーツが使われており、しかも初期の旧型用から最新機種用まで取り揃えているのでその種類は膨大なものになります。 東京・中部にあるパーツセンターは、国内はもとより世界各国で稼動するニコン半導体関連機器のパーツを一手に供給する役目を担っています。

　これら膨大なパーツの在庫管理や、各地のテクニカルセンターやテクニカルブランチからの出庫依頼、さらにニコンの海外現地法人からの注文にも迅速に対応するため、コンピュータシステムによる万全の管理体制をしいています。

　また、パーツの品質維持も重要です。購入したパーツやリサイクルによって回収･修理したパーツは、当然厳しい検査基準で品質維持が図られています。

　さらに、超精密機器である半導体関連機器のパーツは環境に敏感なものが多いため、その保管には温度･湿度の管理や防塵対策など、精度保証に細心の配慮がなされています。