サービス活動の重要性が高まる中、ITやデジタル家電、カーエレクトロニクス等を支えるキーデバイスが、高度化する半導体チップであり、表示デバイスの主流となっているLCDパネルです。ニコンテックは、これらの先端技術をトータルにサポートするサービスを提供しています。

私たちはニコンの半導体製造装置、FPD露光装置をメンテナンスしている会社です

ArF 液浸スキャナーNSR-S620D

NSR-S630Dは、NSR-S622Dの精度と生産性をさらに向上させ、10 nm台のプロセス量産用(マルチプルパターニング適応)に開発された、Streamlign Platform採用のArF液浸スキャナーです。
投影レンズ性能の向上、レチクルステージ位置計測のエンコーダ化、温空調システムの改良により、装置間重ね合わせ精度(MMO:Mix and Match Overlay)2.5 nm以下でスループット毎時250枚以上(96 shots)という極めて高い精度と生産性を実現。最先端デバイス生産ラインの安定量産に貢献します。

FPD露光装置 FX-101S

高精細パネルの生産に適したFX-67Sと、超大型プレートサイズに対応したFX-101Sの技術を融合し、高精細大型パネルの生産に対応したFPD露光装置です。既存の第8世代装置に比べて、高タクトタイムを達成するとともに、2.2 µmの高解像度を実現しました。