サービス活動の重要性が高まる中、ITやデジタル家電、カーエレクトロニクス等を支えるキーデバイスが、高度化する半導体チップであり、表示デバイスの主流となっているLCDパネルです。ニコンテックは、これらの先端技術をトータルにサポートするサービスを提供しています。
私たちはニコンの半導体製造装置、液晶露光装置をメンテナンスしている会社です
NSR-S620Dは、世界初の45 nmデバイス量産対応の液浸スキャナーNSR-S610Cで培ったニコン独自技術であるタンデムステージとローカルフィルノズルに加え、新たに3つの新技術を採用したStreamlign Platform を持つダブルパターニングに最適な液浸スキャナーです。
FXシリーズの特徴である高スループット・高解像度・高精度アライメントを超大型プレートサイズにおいても実現し、高性能・高品位TV用液晶パネルの量産に対応いたします。また、第11世代プレートサイズにも改造で対応可能です。
